传统的二次元影像仪只能测平面两维尺寸,对于立体方向的三维尺寸没有办法测量.而很多的客户要求在立体方向测量.所以,我们在二次元影像仪上加装了探针.这样增加探针配置后,测量的范围更广了,立体方向的精度也更高了.

  以前用影像聚焦原理,粗略衡量高深度,误差在几个丝以上.而且对于表面透光,基准面不均匀的工件,误差会更大.加了探针后,改变测量原理.直接用接触式代替非接触式的点阵撞击原理.当探针从一个台阶面撞击取点后,保留基本高度值,然后再撞击要比对的另一个台阶面,取得另一个高度值,然后两数值差就是高度差.这个精度可以达到2个微米.有的甚至精度更高.

  探针规格有多种,主要根据直径大小命名区分.有0.5mm,1mm,2mm等.细一点的探针可以测细一点的孔位.粗一点的,可以测大一些一孔.价格也不相同,针头越细价格越贵.现在国内生产探针的厂家不多.我们公司主要引进英国雷尼绍的探针.在精度和软件方面,兼容性都比较好.